Glassubstratbasierte MEMS-Spiegelvorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung

Die Erfindung betrifft eine glassubstratbasierte MEMS-Spiegelvorrichtung zur variablen Ablenkung eines einfallenden elektromagnetischen Strahls, sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung. Die MEMS-Spiegelvorrichtung weist ein scheibenförmiges und in mehrere Teilbereiche strukturiertes erstes Glassubs...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Marauska, Stephan, Hofmann, Ulrich, von Wantoch, Thomas, Schwarz, Fabian
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TRANSPORTING
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