Glassubstratbasierte MEMS-Spiegelvorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung

Die Erfindung betrifft eine glassubstratbasierte MEMS-Spiegelvorrichtung zur variablen Ablenkung eines einfallenden elektromagnetischen Strahls, sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung. Die MEMS-Spiegelvorrichtung weist ein scheibenförmiges und in mehrere Teilbereiche strukturiertes erstes Glassubstrat mit einem zumindest anteilig als MEMS-Spiegel zur Reflektion elektromagnetischer Strahlung ausgebildeten Spiegelteilbereich und einem den Spiegelteilbereich zumindest abschnittsweise umgebenden Rahmenteilbereich auf. Der Spiegelteilbereich ist als ein gegenüber dem Rahmenteilbereich mittels zumindest eines den Spiegelteilbereich und den Rahmenteilbereich verbindenden Verbindungselements, das insbesondere als Verbindungssteg bzw. mechanische Feder ausgebildet sein kann, in mehreren Dimensionen schwingungsfähig aufgehängter Teilbereich des ersten Glassubstrats ausgebildet. The invention relates to a glass substrate-based MEMS mirror device for variable deflection of an incident electromagnetic beam, as well as a method for its production. The MEMS mirror device has a disk-shaped first glass substrate structured into a plurality of subregions with a mirror subregion formed at least partially as a MEMS mirror for reflecting electromagnetic radiation and a frame subregion surrounding the mirror subregion at least in sections. The mirror subregion is designed as a subregion of the first glass substrate suspended so as to be capable of oscillating in several dimensions relative to the frame subregion by means of at least one connecting element connecting the mirror subregion and the frame subregion and which can be designed in particular as a connecting web or mechanical spring.