Ionenquelle und Verfahren
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Ionenquelle (100) aufweisen: eine Vielzahl von Elektroden, welche elektrisch separiert voneinander gelagert sind und aufweisen:eine erste Elektrode (102a), welche eine Vertiefung (106) aufweist; eine zweite Elektrode (102b), welche in der Vertiefung (1...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | ger |
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| Zusammenfassung: | Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Ionenquelle (100) aufweisen: eine Vielzahl von Elektroden, welche elektrisch separiert voneinander gelagert sind und aufweisen:eine erste Elektrode (102a), welche eine Vertiefung (106) aufweist; eine zweite Elektrode (102b), welche in der Vertiefung (106) angeordnet ist; eine dritte Elektrode (102c),welche die Vertiefung (106) teilweise abdeckt und von einem Spalt (108) durchdrungen ist, welcher die zweite Elektrode (102b) freilegt; einen oder mehr als einen Magneten (104),welcher eingerichtet ist, ein Magnetfeld in dem Spalt (108) bereitzustellen.
An ion source can have: a multiplicity of electrodes, which are mounted electrically separated from one another and have: a first electrode, which has a depression; a second electrode, which is arranged in the depression; a third electrode, which partially covers the depression and through which a slit passes which exposes the second electrode; one or more than one magnet, which is designed to provide a magnetic field in the slit. |
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