Massenstrom-Sensor-Baugruppe sowie Verfahren zur Herstellung einer Massenstrom-Sensor-Baugruppe

Massenstrom-Sensor-Baugruppe (10) für einen Massendurchflussregler oder einen Massendurchflussmesser, umfassend einen Massenstrom-Sensor (22), der ein Kapillarrohr (28) umfasst, welches von einem ersten Eckträger (24) und einem zweiten Eckträger (26) gehalten ist, die separat voneinander ausgebildet sind, wobei das Kapillarrohr (28) einen Sensorabschnitt (34) umfasst, der zwischen den beiden Eckträgern (24, 26) liegt, und wobei die beiden Eckträger (24, 26) jeweils eine bogenförmige Nut (88, 90) aufweisen, in der das Kapillarrohr (28) teilweise aufgenommen ist. A mass flow sensor assembly for a mass flow controller or a mass flow meter comprises a mass flow sensor comprising a capillary tube held by a first corner support and a second corner support formed separately from each other. The capillary tube comprises a sensor portion which is located between the two corner supports, and wherein the two corner supports each have an arc-shaped groove in which the capillary tube is partially received. In addition, a method of manufacturing a mass flow sensor assembly is described.