INTEGRIERTE-SCHALTKREIS-VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG

Eine Integrierte-Schaltkreis-Vorrichtung umfasst eine Kanalschicht in einem Kanalloch, das eine Leitung und eine Isolierschicht durchdringt, eine Ladungsfallenstruktur innerhalb des Kanallochs zwischen der Leitung und der Kanalschicht, und eine Dummy-Ladungsfallenstruktur innerhalb des Kanallochs zw...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Lee, Suhyeong, Choi, Eunyeoung, Lee, Yohan, Cho, Yongseok
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	ELECTRICITY
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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