SILICIUMCARBID-HALBLEITERVORRICHTUNG

Ein erster Abschnitt der Polysiliciumschicht ist über eine Gate-Isolierschicht in einem Randabschlussbereich auf einer ersten Fläche einer Stirnfläche eines Halbleitersubstrats vorgesehen und konfiguriert einen Gate-Runner. Der erste Abschnitt liegt in einer Tiefenrichtung Z einem p++-Typ-Randkontak...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Araoka, Tsuyoshi
Format: Patent
Sprache:ger
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