Verfahren zur Kalibrierung eines optischen Sensors

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kalibrierung eines Sensors (41) zum Messen einer absoluten Position und Lage eines Lichtstrahls (30) in einem Referenzkoordinatensystem (38) eines Messgerätes (40) mit folgenden Verfahrensschritten:- Bestimmung eines Hilfskoordinatensystems (39) eines Kalibri...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Waltrich, Nadine, Schomers, Robert, Göhnermeier, Aksel, Lichtenthäler, Jörg, Wiesendahl, Ulfert
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kalibrierung eines Sensors (41) zum Messen einer absoluten Position und Lage eines Lichtstrahls (30) in einem Referenzkoordinatensystem (38) eines Messgerätes (40) mit folgenden Verfahrensschritten:- Bestimmung eines Hilfskoordinatensystems (39) eines Kalibriernormals (60),- Bestimmung der Lage des Tastpunktes (34) des Kalibriernormals (60) in dem Hilfskoordinatensystem (39),- Fixierung des Kalibriernormals (60) im Messgerät(40),- Bestimmung der Lage des Hilfskoordinatensystems (39) des Kalibriernormals (60) im Referenzkoordinatensystem (38) des Messgerätes (40),- Positionierung eines Sensors (41) in Bezug zu dem Tastpunkt (34) des Kalibriernormals (60),- Bestimmung des Ortes und der Lage des Messortes (44) des Sensors (41) im Referenzkoordinatensystem (38) mit Hilfe des Tastpunktes (34).