Verfahren zur Herstellung einer Projektionsbelichtungsanlage
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Projektionsbelichtungsanlage, welches die folgenden Schritte umfasst:Erfassung von mindestens einer Eigenschaft mindestens einer Komponente einer Mehrzahl von bereits hergestellten Projektionsbelichtungsanlagen des gleichen Typs,...
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| Format: | Patent |
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| description | Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Projektionsbelichtungsanlage, welches die folgenden Schritte umfasst:Erfassung von mindestens einer Eigenschaft mindestens einer Komponente einer Mehrzahl von bereits hergestellten Projektionsbelichtungsanlagen des gleichen Typs, Bestimmung einer mittleren Abweichung der mindestens einen Eigenschaft von einem Sollwert der Eigenschaft der mindestens einen Komponente für die Mehrzahl der Projektionsbelichtungsanlagen des gleichen Typs undHerstellung der Projektionsbelichtungsanlage mit Korrektur der bestimmten mittleren Abweichung der mindestens einen Eigenschaft der mindestens einen Komponente. |
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