Verfahren zur Herstellung einer Projektionsbelichtungsanlage

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Projektionsbelichtungsanlage, welches die folgenden Schritte umfasst:Erfassung von mindestens einer Eigenschaft mindestens einer Komponente einer Mehrzahl von bereits hergestellten Projektionsbelichtungsanlagen des gleichen Typs,...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Schneider, Sonja, Wagner, Hendrik, Hoch, Rainer, Grupp, Michael, Geh, Bernd, Emer, Wolfgang
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR MEASURING OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS TESTING TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Projektionsbelichtungsanlage, welches die folgenden Schritte umfasst:Erfassung von mindestens einer Eigenschaft mindestens einer Komponente einer Mehrzahl von bereits hergestellten Projektionsbelichtungsanlagen des gleichen Typs, Bestimmung einer mittleren Abweichung der mindestens einen Eigenschaft von einem Sollwert der Eigenschaft der mindestens einen Komponente für die Mehrzahl der Projektionsbelichtungsanlagen des gleichen Typs undHerstellung der Projektionsbelichtungsanlage mit Korrektur der bestimmten mittleren Abweichung der mindestens einen Eigenschaft der mindestens einen Komponente.