Verfahren zum Betreiben eines Regelungssystems zum Regeln der Position eines Elementes

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines Regelungssystems zum Regeln der Position eines Elementes, insbesondere in einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, wobei das Regelungssystem einen Regler (30) zum Regeln einer auf das Element ausgeübten Kraft (F) aufweist, und...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Wittmann, Robert, Treubel, Frank
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY CONTROLLING ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS REGULATING SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines Regelungssystems zum Regeln der Position eines Elementes, insbesondere in einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, wobei das Regelungssystem einen Regler (30) zum Regeln einer auf das Element ausgeübten Kraft (F) aufweist, und wobei der Regler (30) eine Regelungseinheit (31) zur Erzeugung eines Regelungssignals und einen Notch-Filter (32) zur Nachbehandlung dieses Regelungssignals aufweist. Ein erfindungsgemäßes Verfahren weist folgende Schritte auf: Ermitteln einer Frequenzantwort des Elements für ein vorgegebenes Störsignal; Identifizieren wenigstens eines Peaks innerhalb eines dieser Frequenzantwort entsprechenden Frequenzspektrums, für welchen eine unerlaubte Verstärkung von Störungen oder ein instabiles Verhalten des Regelungssystems zu erwarten ist; Bestimmen, für diesen wenigstens einen Peak, jeweils eines Wertes für die Peakfrequenz (ω), für die Peakhöhe (h) und für die Peakbreite (Δf); und automatisches Parametrisieren des Notch-Filters (32) durch Festlegen jeweils eines Wertes für die Dämpfungsparameter (d, d) des Notch-Filters (32) basierend auf den bestimmten Werten.