MIKROSTRUKTURIERTE FLUIDFLUSSREGELVORRICHTUNG

Die vorliegende Erfindung betrifft eine mikrostrukturierte Fluidflussregelvorrichtung (100) mit einem Substrat (110) mit einer auf einer ersten Substratseite (111) angeordneten piezobetätigten ersten Membran (101) und einem sich von der ersten Substratseite (111) zu einer gegenüberliegenden zweiten Substratseite (112) durch das Substrat (110) hindurch erstreckenden Fluidkanal (104). Ferner weist die Fluidflussregelvorrichtung (100) ein sich durch den Fluidkanal (104) hindurch erstreckendes Mikroventil (105), das ausgestaltet ist, um den Fluidkanal (104) in einem unbetätigten Zustand zu verschließen, und eine auf der ersten Substratseite (111) und von der ersten Membran (101) beabstandet angeordnete zweite Membran (102), die zwischen dem Fluidkanal (104) und der ersten piezobetätigten Membran (101) angeordnet ist. Erfindungsgemäß ist die zweite Membran (102) mit dem Mikroventil (105) gefügt und mechanisch in Richtung der ersten Membran (101) vorgespannt ist, sodass eine Vorspannkraft (Fv) auf das Mikroventil (105) ausgeübt wird, wobei die Vorspannkraft (Fv) Teil einer Rückstellkraft (FR) ist, die bewirkt, dass das Mikroventil (105) in einem unbetätigten Zustand den Fluidkanal (104) verschließt. A microstructured fluid flow control device includes a substrate with a piezo-actuated first membrane arranged on a first substrate side, and a fluid channel that extends through the substrate between the first substrate side and an opposite second substrate side. In addition, the microstructured fluid flow control device includes a microvalve that extends through the fluid channel and is configured to close the fluid channel in an unactuated state, and a second membrane arranged on the first substrate side and spaced apart from the membrane and arranged between the fluid channel and the first piezo-actuated membrane. The second membrane is joined to the microvalve and is mechanically biased towards the first membrane so that a biasing force is applied to the microvalve, wherein the biasing force is part of a restoring force that causes the microvalve to close the fluid channel in an unactuated state.