Verfahren zur Herstellung eines Inertialsensors und Inertialsensor

Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines Inertialsensors (1) mit mindestens einer Schwingmasse (2) und mindestens einer integrierten Schaltung (3) vorgeschlagen, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst:-- Bereitstellen eines Wafersubstrats (4), aufweisend eine Wafervorderseite (5), ein...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Emden, Walter von
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT MEASURING MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TESTING TRANSPORTING
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