Verfahren zum Analysieren einer Probe und Vorrichtung zum Analysieren einer Probe

Die vorliegende Erfindung schafft ein Verfahren zum Analysieren einer Probe (1) umfassend ein Vermessen (S1) der Probe (1) mit zumindest einer Metallsensoreinrichtung (2) über zumindest eine erste Oberfläche (F1) der Probe (1), wobei zumindest ein charakteristischer Parameter eines Metalls (M1; M2;...

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1. Verfasser: Haemmerle, Fabian
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Die vorliegende Erfindung schafft ein Verfahren zum Analysieren einer Probe (1) umfassend ein Vermessen (S1) der Probe (1) mit zumindest einer Metallsensoreinrichtung (2) über zumindest eine erste Oberfläche (F1) der Probe (1), wobei zumindest ein charakteristischer Parameter eines Metalls (M1; M2; ...; Mn) in der Probe (1) entlang zumindest einer Richtung (x; y) ermittelt wird; ein Ermitteln (S2) eines charakteristischen Musters (CM1; CM2; ...; CMn) des Metalls (M1; M2; ...; Mn) aus einem Verlauf des charakteristischen Parameters über die erste Oberfläche (F1) und Vergleichen (S3) des charakteristischen Musters (CM1; CM2; ...; CMn) mit zumindest einem bekannten Muster durch eine Auswerteeinrichtung (AE), wobei das bekannte Muster aus einer Speichereinrichtung (SP) abgerufen wird; ein Erkennen (S4) einer Übereinstimmung des charakteristischen Musters (CM1; CM2; ...; CMn) mit dem bekannten Muster durch die Auswerteeinrichtung (AE); und ein Identifizieren (S5) der Probe und/oder des Metalls basierend auf der Übereinstimmung durch die Auswerteeinrichtung (AE).