Verfahren zum Herstellen eines Glaskörpers mit Kühlkanälen

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Glaskörpers (1) mit mindestens einem Kühlkanal, bevorzugt mit einer Mehrzahl von Kühlkanälen (2). Bei einem Aspekt umfasst das Verfahren: Bereitstellen eines ersten Teilkörpers (3a) und eines zweiten Teilkörpers (3b) des Glaskörpers (1), Bilden mindestens eines Kühlkanals (2) durch insbesondere mechanisches Bearbeiten des Glasmaterials (4) an einer Oberfläche (5a) des ersten Teilkörpers (3a) und/oder des zweiten Teilkörpers (3b), sowie Herstellen des Glaskörpers (1) durch Verbinden des ersten Teilkörpers (3a) mit dem zweiten Teilkörper (3b) an der bearbeiteten Oberfläche (5a) durch Hochtemperatur-Bonden. Bei einem zweiten Aspekt umfasst das Verfahren: Einbetten mindestens eines Platzhalters (9a-e) aus einem temperaturbeständigen Material (10) in das Glasmaterial (4) des Glaskörpers (1) während des Herstellens des Glaskörpers (1) zum Bilden des mindestens einen Kühlkanals (2) in dem Glaskörper (1). Die Erfindung betrifft auch ein reflektierendes optisches Element, insbesondere einen EUV-Spiegel, der ein Substrat mit mindestens einem Kühlkanal (2) aufweist, das aus einem solchen Glaskörper (1) hergestellt wurde, sowie eine optische Anordnung, insbesondere ein EUV-Lithographiesystem, mit mindestens einem solchen reflektierenden optischen Element. The invention relates to a method for producing a glass body (1) having at least one cooling channel, preferably having a plurality of cooling channels (2). In one aspect, the method comprises: providing a first partial body (3a) and a second partial body (3b) of the glass body (1), forming at least one cooling channel (2) by working, in particular mechanically working, the glass material (4) at a surface (5a) of the first partial body (3a) and/or of the second partial body (3b), and producing the glass body (1) by joining the first partial body (3a) to the second partial body (3b) at the worked surface (5a) by high-temperature bonding. In a second aspect, the method comprises: embedding at least one placeholder (9a-e) made of a temperature-resistant material (10) into the glass material (4) of the glass body (1) during the production of the glass body (1), to form the at least one cooling channel (2) in the glass body (1). The invention also relates to a reflective optical element, in particular an EUV mirror, which has a substrate having at least one cooling channel (2) which has been produced from such a glass body (1), and also to an optical arrangement, i