Strahlbestrahlungsvorrichtung

Strahlbestrahlungsvorrichtung, die Folgendes umfasst:eine Strahlenquelle, die konfiguriert ist, um mehrere Strahlen zu emittieren;eine Objektivlinse (17), die konfiguriert ist, um einen Strahl auf einer Probe zu fokussieren;eine erste Linse (16), die so angeordnet ist, dass eine Linsenhauptfläche an einem Objektpunkt der Objektivlinse (17) positioniert ist, und die konfiguriert ist, um mehrere einfallende Strahlen zu einem Schnittpunkt einer Hauptfläche der Objektivlinse (17) und einer optischen Achse (201) abzulenken;eine zweite Linse (15), die näher bei einer Seite der Strahlenquelle als die erste Linse (16) angeordnet ist und die konfiguriert ist, um die mehreren Strahlen auf einer Hauptfläche der ersten Linse (16) zu fokussieren; undeine dritte Linse (14), die näher bei der Seite der Strahlenquelle als die zweite Linse (15) angeordnet ist und die konfiguriert ist, um die mehreren Strahlen zu einem Schnittpunkt einer Hauptfläche der zweiten Linse (15) und der optischen Achse (201) abzulenken. The present disclosure aims at proposing a multi-beam irradiation device capable of correcting off-axis aberrations. In order to achieve the above object, a beam irradiation device is proposed, which includes a beam source which emits a plurality of beams; an objective lens (17) which focuses a beam on a sample; a first lens (16) which is arranged such that a lens main surface is positioned at an object point of the objective lens and deflects a plurality of incident beams toward an intersection point of a lens main surface of the objective lens and an optical axis; a second lens (15) which is arranged closer to a beam source side than the first lens and focuses the plurality of beams on a lens main surface of the first lens; and a third lens (14) which is arranged closer to the beam source side than the second lens and deflects the plurality of beams toward an intersection point of a lens main surface of the second lens and the optical axis.