KOMBINIERTE PUMPE-SENSOR-ANORDNUNG

Die Erfindung betrifft eine kombinierte Pumpe-Sensor-Anordnung (100) mit einem Substrat (10) mit einer ersten Hauptseite (11) und einer gegenüberliegenden zweiten Hauptseite (12). Auf der ersten Hauptseite (11) des Substrats (10) ist ein Gehäusedeckel (13) angeordnet, der ein Gehäuse mit einer Messkavität (14) definiert. Die Pumpe-Sensor-Anordnung (100) weist ferner eine Mikropumpe (15) mit einem Pumpeneinlass (16) und einem Pumpenauslass (17) auf, wobei die Mikropumpe (15) ausgestaltet ist, um ein in der Messkavität (14) befindliches Analyt-Fluid durch den Pumpeneinlass (16) anzusaugen und über den Pumpenauslass (17) in eine Umgebung (18) außerhalb der Messkavität (14) auszustoßen. Die Pumpe-Sensor-Anordnung (100) weist ferner einen Sensor (20) zum Detektieren von zumindest einem Bestandteil des innerhalb der Messkavität (14) befindlichen und mittels der Mikropumpe (15) bewegbaren Analyt-Fluids auf. Erfindungsgemäß sind sowohl der Sensor (20) als auch die Mikropumpe (15) gemeinsam auf der ersten Hauptseite (11) des Substrats (10) und innerhalb der Messkavität (14) angeordnet. The invention relates to a combined pump-sensor arrangement having a substrate having a first main surface and an opposite second main surface. A package lid which defines a package having a measuring cavity is arranged on the first main surface of the substrate. Additionally, the pump-sensor arrangement has a micropump having a pump inlet and a pump outlet, the micropump being configured to suck in an analyte fluid present in the measuring cavity through the pump inlet and eject the same to an environment outside the measuring cavity via the pump outlet. Furthermore, the pump-sensor arrangement has a sensor for detecting at least one component of the analyte fluid present within the measuring cavity and movable by means of the micropump. In accordance with the invention, both the sensor and the micropump are commonly arranged on the first main surface of the substrate and within the measuring cavity.