Bildaufnahmevorrichtung, Bildmessvorrichtung, berührungslose Verlagerungserfassungsvorrichtung und berührungslose Profilmessvorrichtung

Eine Bildmessvorrichtung (1), die als eine berührungslose Profilmessvorrichtung fungiert, enthält: einen Bildsensor (14) als eine Bildaufnahmevorrichtung; eine Linse mit variabler Brennweite (Flüssigkeitslinseneinheit (13)), die auf einer optischen Achse (Ai) angeordnet ist, die sich von einem Werks...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Igasaki, Shiro, Kurahashi, Yuki, Watanabe, Yutaka, Nagahama, Tatsuya, Matsui, Hiroki, Kubo, Koji, Yoshida, Satoru, Shishido, Yuko, Isobe, Hitoshi, Sakai, Hiroshi, Oita, Naoto, Ohba, Nobuo, Yamanaka, Masafumi, Ootake, Takahisa, Arai, Masanori
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Eine Bildmessvorrichtung (1), die als eine berührungslose Profilmessvorrichtung fungiert, enthält: einen Bildsensor (14) als eine Bildaufnahmevorrichtung; eine Linse mit variabler Brennweite (Flüssigkeitslinseneinheit (13)), die auf einer optischen Achse (Ai) angeordnet ist, die sich von einem Werkstück (9) zu dem Bildsensor (14) erstreckt; und einen Controller (Bildaufnahmelinsencontroller (30) und Bildmessprozessor (51)), der konfiguriert ist, die Linse mit variabler Brennweite zu steuern bzw. zu regeln und ein erfasstes Bild durch den Bildsensor (14) zu verarbeiten. Die Bildmessvorrichtung (1), die auch als eine berührungslose Verlagerungserfassungsvorrichtung fungiert, enthält: einen Bildsensor (24); eine Linse mit variabler Brennweite (Flüssigkeitslinseneinheit (23)), die auf einer optischen Achse (Ad) angeordnet ist, die sich von dem Werkstück (9) zu dem Bildsensor (24) erstreckt; und einen Controller (Verlagerungserfassungslinsencontroller (40) und Profilmessprozessor (53)), der konfiguriert ist, die Linse mit variabler Brennweite und ein erfasstes Bild durch den Bildsensor (24) zu steuern bzw. zu regeln. An image measurement apparatus, which functions as a non-contact profile-measuring device, includes: an image sensor as an image pick-up device; a variable focal length lens (liquid lens unit) disposed on an optical axis extending from a workpiece to the image sensor; and a controller (image-pickup lens controller and image measurement processor) configured to control the variable focal length lens and process a detected image by the image sensor. The image measurement apparatus, which also functions as a non-contact displacement-detecting device, includes: an image sensor; a variable focal length lens (liquid lens unit) disposed on an optical axis extending from the workpiece to the image sensor; and a controller (displacement-detection lens controller and profile measurement processor) configured to control the variable focal length lens and a detected image by the image sensor.