Trocknungseinheit und Verfahren zur Trocknung eines Substrats

Eine Trocknungseinheit (150) umfasst zumindest ein Trocknungsmodul (160, 170, 180), das eingerichtet ist, einem Substrat (120) thermische Energie zuzuführen, um das Substrat (120) durch Verdunstung von Flüssigkeit zu trocknen. Durch Vergleich eines Messwertes (215) der Temperatur des Substrats (120)...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Breintner, Tobias
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME LINING MACHINES PERFORMING OPERATIONS PRINTING SELECTIVE PRINTING MECHANISMS STAMPS TRANSPORTING TYPEWRITERS
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