Trocknungseinheit und Verfahren zur Trocknung eines Substrats

Eine Trocknungseinheit (150) umfasst zumindest ein Trocknungsmodul (160, 170, 180), das eingerichtet ist, einem Substrat (120) thermische Energie zuzuführen, um das Substrat (120) durch Verdunstung von Flüssigkeit zu trocknen. Durch Vergleich eines Messwertes (215) der Temperatur des Substrats (120) mit der Gleichgewichtstemperatur (213), die sich bei einem Gleichgewicht aus Verdunstungskälte und zugeführter thermischer Energie ergibt, kann in präziser Weise Information in Bezug auf den Trocknungsgrad des Substrats (120) ermittelt werden. Alternativ oder ergänzend kann der Trocknungsgrad des Substrats (120) in präziser Weise eingestellt werden. A dryer comprises at least one dryer that is configured to supply thermal energy to a substrate in order to dry said substrate via evaporation of fluid. Information with regard to the degree of drying of the substrate may be precisely determined via comparison of a measurement value of the temperature of the substrate with the equilibrium temperature that results given an equilibrium of latent heat and supplied thermal energy. Alternatively or additionally, the degree of drying of the substrate may be precisely set.