Prozesskammer mit selbstverschließendem Gasauslass

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit einer in einem Reaktorgehäuse (1) angeordneten Prozesskammer (27), einem Gaseinlassorgan (4) zum Einspeisen eines Prozessgases in die Prozesskammer (27), mit einem Suszeptor (3) zur Aufnahme eines in der Prozesskammer (27) zu behandelnden Substrates (26) u...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Eickelkamp, Martin
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit einer in einem Reaktorgehäuse (1) angeordneten Prozesskammer (27), einem Gaseinlassorgan (4) zum Einspeisen eines Prozessgases in die Prozesskammer (27), mit einem Suszeptor (3) zur Aufnahme eines in der Prozesskammer (27) zu behandelnden Substrates (26) und mit einem Gasauslassorgan (6), das eine Strömungsverbindung der Prozesskammer (27) zu einer Pumpleitung (10) zum Entfernen des in die Prozesskammer (27) eingespeisten Prozessgases oder Zerlegungsprodukte des Prozessgases ausbildet. Um zu vermeiden, dass bei einem geöffneten Reaktorgehäusedeckel (2) Gase, Partikel oder dergleichen aus der Pumpleitung (10) austreten, ist ein insbesondere selbsttätig in eine Verschlussstellung gelangendes Verschlusselement (23) vorgesehen, mit dem die Strömungsverbindung blockierbar ist.