AOM-System zum Verschieben einer Frequenz eines Laserstrahls und Lasersystem

Die Erfindung betrifft ein AOM-System (14) zum Verschieben einer Frequenz (f16) eines Laserstrahls (16), insbesondere eines UV-Laserstrahls (16), mit (a) einer ersten Optik in Form eines ersten Spiegels (22), der angeordnet ist zum Reflektieren des Laserstrahls (16), (b) einer zweiten Optik in Form...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Hannig, Stephan, Heip, Jan Christoph, Wolf, Fabian
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Die Erfindung betrifft ein AOM-System (14) zum Verschieben einer Frequenz (f16) eines Laserstrahls (16), insbesondere eines UV-Laserstrahls (16), mit (a) einer ersten Optik in Form eines ersten Spiegels (22), der angeordnet ist zum Reflektieren des Laserstrahls (16), (b) einer zweiten Optik in Form eines zweiten Spiegels (24), (c) einer dritten Optik in Form eines dritten Spiegels (26), (d) einer vierten Optik in Form eines akustooptischen Modulatorelements (28) und (e) einer fünften Optik in Form einer Linse (30), wobei (f) die Optiken (22, 24, 26, 28, 30) so angeordnet sind, dass der Laserstrahl (16) (i) zweimal durch das Modulatorelement (28) läuft und (ii) zumindest einen Fokus (F) hat. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass (g) die Optiken (22, 24, 26, 28, 30) so angeordnet sind, dass der Fokus (F) von den Optiken (22, 24, 26, 28, 30) beabstandet ist.