Verfahren zur hochauflösenden Scanning-Mikroskopie

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur hochauflösenden Scanning-Mikroskopie einer Probe, wobei die Probe (P) mit Beleuchtungslicht (B) derart beleuchtet wird, dass das Beleuchtungslicht (B) an einem Punkt in oder auf der Probe (P) zu einem Beleuchtungsfleck (3) gebündelt wird. Der Punkt wirkt in ein Beugungsbild (15) auf einen Detektorelemente (19) aufweisenden Flächendetektor (13) abgebildet, wobei der Flächendetektor (13) durch seine Detektorelemente (19) eine Ortsauflösung aufweist, die eine Beugungsstruktur (16) des Beugungsbildes (15) auflöst. Die Probe (P) wird dabei in einem Raster aus Zeilen und Spalten zeilenweise abgetastet, indem der Punkt relativ zur Probe (P) in verschiedene Scanpositionen mit einer Schrittweite verschoben wird, die kleiner als der Durchmesser des Beleuchtungsflecks (3) ist. Der Flächendetektor (13) wird ausgelesen und aus den Daten des Flächendetektors (13) und aus den diesen Daten zugeordneten Scanpositionen wird ein Bild der Probe (P) erzeugt, welches eine Auflösung aufweist, die über eine Auflösungsgrenze der Abbildung gesteigert ist.Erfindungsgemäß wird für jede Zeile nach der Aufnahme ein vorverrechnetes Zeilenrohbild berechnet. Die vorverrechneten Zeilenrohbilder werden zu einem Rohbild zusammengefasst und entfaltet, um das Bild der Probe (P) zu erzeugen. A method for high-resolution scanning microscopy of a sample, wherein the sample is illuminated with illumination light such that the illumination light is focused at a point in or on the sample into an illumination spot. The point is imaged into a diffraction image onto an area detector having detector elements. The area detector has a spatial resolution that resolves a diffraction structure of the diffraction image. The sample is here scanned line-wise in a grid made of rows and columns by displacing the point relative to the sample into different scanning positions with an increment width that is smaller than the diameter of the illumination spot. The area detector is read, and an image of the sample is generated from the data of the area detector and from the scanning positions assigned to said data, said image having a resolution that is increased beyond a resolution limit for imaging.