Drehbare Verdampfungsmaterialaufnahmeeinrichtung und Vorrichtung hiermit zur Beschichtung von Halbleiter- oder sonstigen Oberflächen

Es wird eine Vorrichtung zur zur Beschichtung von Oberflächen und eine drehbare Verdampfungsmaterialaufnahmeeinrichtung hierfür vorgestellt. Diese ist ausgebildet mit einem Drehkörper, der eine Mehrzahl von Ausnehmungen, die von einer Drehkörperoberseite in den Drehkörper hineinragen und jeweils zur...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Koppi, Herbert, Eres, Zeljko, Hänel, Heinz-Olaf
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SEMICONDUCTOR DEVICES SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Es wird eine Vorrichtung zur zur Beschichtung von Oberflächen und eine drehbare Verdampfungsmaterialaufnahmeeinrichtung hierfür vorgestellt. Diese ist ausgebildet mit einem Drehkörper, der eine Mehrzahl von Ausnehmungen, die von einer Drehkörperoberseite in den Drehkörper hineinragen und jeweils zur Aufnahme von Verdampfungsmaterial oder zur Aufnahme eines Tiegels für Verdampfungsmaterial ausgebildet sind, wobei jeweils ein reversibler Blendenring derart in der zugeordneten Ausnehmung angeordnet ist, das eine Oberkante des Blendenrings mir der Drehkörperoberseite bündig abschließt oder geringfügig über diese hinausragt.