Vakuumanordnung und Verfahren
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumanordnung (100, 700, 1600) aufweisen: eine Vakuumkammer (802), welche eine Werkstücktransferöffnung (802o) aufweist; ein Heizgehäuse (112), welches innerhalb der Vakuumkammer (802) angeordnet ist, wobei das Heizgehäuse (112) zwei Gehäuseteile (11...
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| creator | Gottsmann, Lutz Kittel, Jens |
| description | Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumanordnung (100, 700, 1600) aufweisen: eine Vakuumkammer (802), welche eine Werkstücktransferöffnung (802o) aufweist; ein Heizgehäuse (112), welches innerhalb der Vakuumkammer (802) angeordnet ist, wobei das Heizgehäuse (112) zwei Gehäuseteile (112a, 112b) aufweist, welche zwischen einer ersten Position und einer zweiten Position relativ zueinander verlagerbar gelagert sind, eine Heizvorrichtung (114), welche zwischen den zwei Gehäuseteilen (112a, 112b) angeordnet ist und einen Heizbereich (114b) aufweist; wobei die zwei Gehäuseteile (112a, 112b) in der ersten Position die Heizvorrichtung einhausen und in der zweiten Position gegenüber der Werkstücktransferöffnung (802o) freilegen. |
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