Vakuumanordnung und Verfahren

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumanordnung (100, 700, 1600) aufweisen: eine Vakuumkammer (802), welche eine Werkstücktransferöffnung (802o) aufweist; ein Heizgehäuse (112), welches innerhalb der Vakuumkammer (802) angeordnet ist, wobei das Heizgehäuse (112) zwei Gehäuseteile (11...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Gottsmann, Lutz, Kittel, Jens
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumanordnung (100, 700, 1600) aufweisen: eine Vakuumkammer (802), welche eine Werkstücktransferöffnung (802o) aufweist; ein Heizgehäuse (112), welches innerhalb der Vakuumkammer (802) angeordnet ist, wobei das Heizgehäuse (112) zwei Gehäuseteile (112a, 112b) aufweist, welche zwischen einer ersten Position und einer zweiten Position relativ zueinander verlagerbar gelagert sind, eine Heizvorrichtung (114), welche zwischen den zwei Gehäuseteilen (112a, 112b) angeordnet ist und einen Heizbereich (114b) aufweist; wobei die zwei Gehäuseteile (112a, 112b) in der ersten Position die Heizvorrichtung einhausen und in der zweiten Position gegenüber der Werkstücktransferöffnung (802o) freilegen.