Drucksensor mit einer Membran mit Sensorchips mit Messbrücken mit Sensorelementen

Die Erfindung betrifft Drucksensoren mit einer Membran mit Sensorchips mit Messbrücken mit Sensorelementen, wobei die Membran in einem Gehäuse, mit einem Träger oder als Bestandteil eines Gehäuses befestigt ist und mit einem Arbeitsmedium beaufschlagbar ist. Die Drucksensoren zeichnen sich insbesondere dadurch aus, dass die aus einer Befestigung und/oder einem Einbau der Drucksensoren resultierenden mechanischen Spannungen das Messergebnis und/oder das Messsignal nicht beeinflussen. Dazu befinden sich wenigstens auf einer der sich bei Druckbeaufschlagung biegenden Seite der Membran mindestens zwei beabstandet und winklig versetzt zueinander angeordnete Sensorchips. Die Messbrücken sind so ausgebildet und/oder so mit einer Steuereinrichtung verbunden, dass wenigstens eine aus einer Befestigung der Membran resultierende und damit auf die Membran wirkende Kraft kompensiert ist oder wird. The invention relates to pressure sensors having a membrane having sensor chips having measuring bridges having sensor elements, wherein the membrane is fastened in a housing, with a carrier or as part of a housing, to which membrane a working medium can be applied. The pressure sensors are characterised in particular in that the mechanical stresses resulting from a fastening and/or an installation of the pressure sensors do not influence the measurement result and/or the measurement signal. To this end, at least two sensor chips, which are spaced apart from one another and are offset at an angle to one another, are located at least on a side of the membrane that bends on application of pressure. The measuring bridges are designed and/or connected to a controller in such a manner that at least one force resulting from the fastening of the membrane and thus acting on the membrane is or will be compensated.