Teilchenstrahl-System zur azimutalen Ablenkung von Einzel-Teilchenstrahlen sowie seine Verwendung und Verfahren zur Azimut-Korrektur bei einem Teilchenstrahl-System

Teilchenstrahl-System, das Folgendes aufweist:eine Vielstrahl-Teilchenquelle (305), welche konfiguriert ist, eine Vielzahl von geladenen Einzel-Teilchenstrahlen (3, S0, S1, S2) zu erzeugen; undein magnetisches Multi-Deflektor-Array (500) zur Ablenkung der Einzel-Teilchenstrahlen (3) in azimutaler Richtung, umfassend:eine magnetisch leitende Multiaperturplatte, welche eine Vielzahl von Öffnungen (506) aufweist und welche im Strahlengang der Teilchenstrahlen so angeordnet ist, dass verschiedene der Einzel-Teilchenstrahlen (3, S0, S1, S2) unterschiedliche Öffnungen (506) der Multiaperturplatte (501) im Wesentlichen durchsetzen;eine magnetisch leitende erste Aperturplatte (502), welche eine einzelne Öffnung (507) aufweist und welche im Strahlengang der Teilchenstrahlen derart angeordnet ist, dass eine Vielzahl an Einzel-Teilchenstrahlen (3, S0, S1, S2) die einzelne Öffnung (507) der ersten Aperturplatte (502) im Wesentlichen durchsetzen;wobei die Multiaperturplatte (501) und die erste Aperturplatte (502) derart miteinander verbunden sind, dass zwischen den beiden Platten ein Hohlraum (508) gebildet wird; undeine erste Spule (505) zur Erzeugung eines Magnetfeldes, die in dem Hohlraum (508) zwischen der Multiaperturplatte (501) und der ersten Aperturplatte (502) derart angeordnet ist, dass die Vielzahl an Einzel-Teilchenstrahlen (3, S0, S1, S2) die Spule (505) im Wesentlichen durchsetzen. A particle beam system includes a multi-beam particle source for generating a multiplicity of charged individual particle beams, and a magnetic multi-deflector array for deflecting the individual particle beams in the azimuthal direction. The magnetic multi-deflector array includes a magnetically conductive multi-aperture plate having a multiplicity of openings, which is arranged in the beam path of the particle beams such that the individual particle beams substantially pass through the openings of the multi-aperture plate. The magnetic multi-deflector array also includes a magnetically conductive aperture plate having an individual opening. The aperture plate is arranged in the beam path of the particle beams such that the individual particle beams substantially pass through the first aperture plate. The multi-aperture plate and the first aperture plate are connected to each other such that a cavity is formed between the two plates. A first coil for generating a magnetic field is arranged in the cavity between the first aperture plate and the multi-aperture plate such that th