Messvorrichtung und Verfahren zur Durchführung optischer Kohärenztomographie mit einem Kohärenztomographen

Messvorrichtung, insbesondere für ein Bearbeitungssystem (12) zum Bearbeiten eines Werkstücks (14) mittels eines hochenergetischen Bearbeitungsstrahls (16), wobei die Messvorrichtung (10) einen optischen Kohärenztomographen (18) aufweist, der umfasst:- eine Strahlerzeugungseinheit (20) zur Erzeugung eines Messstrahls (22) und eines Referenzstrahls (24);- einen sich ausgehend von der Strahlerzeugungseinheit (20) erstreckenden Messarm (26), in dem der Messstrahl (22) optisch führbar ist, sodass dieser auf ein Messobjekt (28) projizierbar ist; und- einen sich ausgehend von der Strahlerzeugungseinheit (20) erstreckenden Referenzarm (30), in dem der Referenzstrahl (24) optisch führbar ist und der den Messarm (26) zumindest in seiner optischen Weglänge nachbildet, sodass der Messstrahl (22) und der Referenzstrahl (24) nach Durchlaufen des Messarms (26) bzw. des Referenzarms (30) zur Erzeugung eines Interferenzsignals überlagert werden können;wobei der Messarm (26) und der Referenzarm (30) zumindest abschnittsweise in einer gemeinsamen optischen Faser (32) verlaufen,wobei der optische Kohärenztomograph (18) einen polarisierenden Strahlkombinierer (34) umfasst, der derart angeordnet ist, dass der Messstrahl (22) und der Referenzstrahl (24) mit unterschiedlicher Polarisation in die gemeinsame optische Faser (32) eingekoppelt werden, sodass der Messstrahl (22) und der Referenzstrahl (24) in der gemeinsamen optischen Faser (32) mit unterschiedlicher Polarisation derart geführt werden, dass deren Wechselwirkung innerhalb der gemeinsamen optischen Faser (32) reduziert wird.