Messvorrichtung für ein Bearbeitungssystem, Bearbeitungssystem sowie Verfahren zum Überwachen einer Bearbeitung eines Werkstücks

Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung (10) für ein Bearbeitungssystem (12) zum Bearbeiten eines Werkstücks (14) mittels eines hochenergetischen Bearbeitungsstrahls (16), wobei die Messvorrichtung (10) einen optischen Kohärenztomographen (18) aufweist, der umfasst: eine Strahlerzeugungseinheit (20) mit einer Lichtquelle (22) zur Erzeugung eines Messstrahls (24) und eines Referenzstrahls (26); einen Messarm (28), in dem der Messstrahl (24) optisch führbar ist, sodass dieser in den Bearbeitungsstrahl (16) einkoppelbar und über eine Bearbeitungsstrahloptik (30) auf das Werkstück (14) projizierbar ist; und einen Referenzarm (32), in dem der Referenzstrahl (26) optisch führbar ist und der zur Überwachung des Bearbeitungssystems (12) mittels des Messstrahls (24) den Messarm (28) zumindest in seiner optischen Weglänge nachbildet. Der optische Kohärenztomograph (18) umfasst ferner wenigstens eine Weglängeneinstellvorrichtung (34), die dazu eingerichtet ist, eine optische Weglänge des Messarms (28) und eine optische Weglänge des Referenzarms (32) einzustellen, wobei die Weglängeneinstellvorrichtung (34) ein zwischen unterschiedlichen Einstellpositionen (36, 38) verlagerbares Einstellelement (40) umfasst, dessen Verlagerung zwischen unterschiedlichen Einstellpositionen (36, 38) dazu eingerichtet ist, die Weglänge des Referenzarms (32) und die Weglänge des Messarms (28) derart zu ändern, dass die eine der Weglängen größer und die andere der Weglängen zugleich kleiner wird.