Verfahren zur Herstellung eines vereisungsrobusten Drucksensors und vereisungsrobuster Drucksensor

Der Vorschlag betrifft einen vereisungsrobusten Drucksensor und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Drucksensors (1), aufweisend die Schritte:- Bereitstellen eines Trägersubstrats (2), das von einem Druckkanal (23) durchdrungen wird,- Anordnen eines Drucksensorelements (3) auf einer ersten Seite (21) des Trägersubstrats (2) über dem Druckkanal (21) und- Bereitstellen eines ersten Gehäuseteils (11), das eine Kavität (15) und einen mit der Kavität (15) verbundenen Druckanschluss (6) aufweist,- Anordnen des ersten Gehäuseteils (11) auf einer von dem Drucksensorelement (3) abgewandten zweiten Seite (22) des Trägersubstrats (2) derart, dass die Kavität (15) eine bis auf den Zugang über den Druckanschluss (6) und den Druckanal (23) abgedichtete Druckkammer (13) des Drucksensors (1) bildet. Um den Drucksensor robuster gegenüber Vereisung zu gestalten wird vorgeschlagen, dass in empirischen Versuchen eine physikalische Größe (V) ermittelt wird, welche ein Volumen einer sich im Normalbetrieb in der Druckkammer (13) maximal bildenden Menge eines Kondensats (30) repräsentiert, und dass in Abhängigkeit von der so ermittelten physikalischen Größe (V) wenigstens ein geometrischer Parameter der Druckkammer (13) derart vorgegeben wird, dass abhängig von der Ausrichtung des Drucksensors (1) relativ zu einer wirkenden Gravitationsrichtung (G), ein sich im Betrieb in der Druckkammer (13) bildendes Kondensat (30) nicht in den Druckkanal (23) gelangt. The invention relates to a pressure sensor that is robust with respect to icing and to a method for producing a pressure sensor (1) of this type, comprising the steps: providing a carrier substrate (2), through which a pressure channel (23) passes; arranging a pressure sensor element (3) on a first side (21) of the carrier substrate (2) over the pressure channel (21); providing a first housing part (11), which has a cavity (15) and a pressure port (6), which is connected to the cavity (15); arranging the first housing part (11) on a second side (22) of the carrier substrate (2) facing away from the pressure sensor element (3), in such a way that the cavity (15) forms a pressure chamber (13) of the pressure sensor (1), which pressure chamber is sealed except for the access via the pressure port (6) and the pressure channel (23). The aim of the invention is to make the pressure sensor more robust with respect to icing. This aim is achieved, according to the invention, in that a physical variable (Vk), which represents a vol