Sonde, sowie Verfahren, Vorrichtung und Computerprogramm zur Herstellung einer Sonde für Rastersondenmikroskope

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Sonde für ein Rastersondenmikroskop mit folgenden Schritten: teilchenstrahlinduziertes Erzeugen und / oder Bearbeiten einer Sondenspitze auf einem Substrat; wobei eine sich zeitlich verändernde Wechselwirkungsposition eines Teilc...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Kornilov, Kinga, Baur, Christof
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBEMICROSCOPY [SPM] CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL MEASURING METALLURGY PHYSICS SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Sonde für ein Rastersondenmikroskop mit folgenden Schritten: teilchenstrahlinduziertes Erzeugen und / oder Bearbeiten einer Sondenspitze auf einem Substrat; wobei eine sich zeitlich verändernde Wechselwirkungsposition eines Teilchenstrahls derart kontrolliert wird, dass eine seitliche Oberfläche eines Sockelbereichs der erzeugten und / oder bearbeiteten Sondenspitze eine negative Krümmung aufweist.