Optische Anordnung mit einer Blende und Verfahren zu deren Befestigung

Die Erfindung betrifft eine optische Anordnung (1) für EUV-Strahlung, umfassend: mindestens ein reflektives optisches Element (4), das einen Grundkörper (5) mit einer EUV-Strahlung reflektierenden Beschichtung (8) aufweist, sowie eine Blende (9), die von einem zu schützenden Oberflächenbereich (7) d...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Petasch, Thomas, Mühlke, Christian
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft eine optische Anordnung (1) für EUV-Strahlung, umfassend: mindestens ein reflektives optisches Element (4), das einen Grundkörper (5) mit einer EUV-Strahlung reflektierenden Beschichtung (8) aufweist, sowie eine Blende (9), die von einem zu schützenden Oberflächenbereich (7) des Grundkörpers (5) beabstandet angeordnet ist. Die Blende (9) ist lösbar an einem Träger (10) befestigt, der dauerhaft mit einem mechanischen Bauteil (2) der optischen Anordnung (1) verbunden ist. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Anbringen einer Blende (9) in einer optischen Anordnung (1) für EUV-Strahlung, umfassend: Dauerhaftes Verbinden eines Trägers (10) mit einem mechanischen Bauteil (2) der optischen Anordnung (1), insbesondere durch eine stoffschlüssige Verbindung, sowie lösbares Befestigen der Blende (9) an dem Träger (10) zum Anbringen der Blende (9) beabstandet von einem zu schützenden Oberflächenbereich (7) eines Grundkörpers (5) eines reflektiven optischen Elements (4), der eine EUV-Strahlung reflektierende Beschichtung (8) aufweist.