Vorrichtung zum Teilen eines Werkstücks

Eine Teilungsvorrichtung teilt ein plattenförmiges Werkstück entlang vorgesehener Teilungslinien in Chips, wobei das Werkstück an einer oberen Oberfläche eines Schutzbandes angebracht ist, das an einem ringförmigen Rahmen angebracht ist. Die Teilungsvorrichtung enthält eine Rahmenhalteeinheit, um den ringförmigen Rahmen zu halten, und eine Teilungseinheit zum Drücken des Werkstücks in der Nähe von einer der vorgesehenen Teilungslinien und zum Teilen des Werkstücks in Chips entlang der vorgesehenen Teilungslinie nach der anderen. Die Teilungseinheit enthält einen Halter zum Halten eines Abschnitts des Werkstücks in der Nähe der vorgesehenen Teilungslinie, an der das Werkstück gebrochen werden soll, von sowohl der oberen, als auch der unteren Oberfläche des Werkstücks, und einen Drücker zum Drücken von Chips neben Chips, die von dem Halter auf einer anderen Seite der vorgesehenen Teilungslinie gehalten werden, an der das Werkstück gebrochen werden soll, um dadurch das Werkstück entlang der vorgesehenen Teilungslinie zu teilen. A dividing apparatus divides a workpiece along projected dicing lines into chips, the workpiece being stuck to an upper surface of a protective tape mounted on an annular frame. The dividing apparatus includes a frame holding unit for holding the annular frame and a dividing unit for pressing the workpiece in the vicinity of one at a time of the projected dicing lines and dividing the workpiece into chips along the projected dicing line. The dividing unit includes a holder for holding a portion of the workpiece in the vicinity of the projected dicing line where the workpiece is to be broken, from both upper and lower surfaces of the workpiece, and a presser for pressing chips next to chips held by the holder across the projected dicing line where the workpiece is to be broken, thereby to divide the workpiece along the projected dicing line.