Vorrichtung zur Temperierung einer optischen Anordnung und Verfahren zur Auslegung einer solchen Vorrichtung

Die Erfindung betrifft eine optische Anordnung mit einer Vorrichtung zur Temperierung der optischen Anordnung, umfassend mindestens ein optisches Element (43), eine Tragstruktur (42) zur Halterung des optischen Elementes (43), ein von einem Kühlfluid (40) durchströmbares Kühlelement (39, 39', 3...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Visser, Raimond, Heindl, Thomas, Frommeyer, Andreas, Janssen, Gerardus Arnoldus Hendrikus Franciscus
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft eine optische Anordnung mit einer Vorrichtung zur Temperierung der optischen Anordnung, umfassend mindestens ein optisches Element (43), eine Tragstruktur (42) zur Halterung des optischen Elementes (43), ein von einem Kühlfluid (40) durchströmbares Kühlelement (39, 39', 39"), wobei die Vorrichtung mindestens eine Drossel (37, 38) zur Erwärmung des Kühlfluides (40) umfasst.