Lasereinrichtung, die Taukondensationsverhinderungsfunktion beinhaltet

Es ist eine Aufgabe, eine Lasereinrichtung bereitzustellen, die Taukondensation an einer Taukondensations-Verhinderungs-Zieleinheit verhindern kann, ohne entfeuchtet zu werden, selbst in einer Umgebung, in der eine Taupunkttemperatur hoch ist, während eine wärmeerzeugende Einheit auf einer kühlenden...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Kurosawa, Tadashi, Mori, Atsushi, Nishikawa, Yuji, Shiomi, Toshiyasu, Nishio, Akihiko, Takigawa, Hiroshi, Yoshida, Hiroyuki, Maeda, Michinori
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Es ist eine Aufgabe, eine Lasereinrichtung bereitzustellen, die Taukondensation an einer Taukondensations-Verhinderungs-Zieleinheit verhindern kann, ohne entfeuchtet zu werden, selbst in einer Umgebung, in der eine Taupunkttemperatur hoch ist, während eine wärmeerzeugende Einheit auf einer kühlenden Temperatur gehalten wird, die ursprünglich aufrechterhalten werden sollte. Eine Lasereinrichtung 1 beinhaltet: ein Kühlkapazitäts-Steuermittel 6, das die Kühlkapazität einer Wärmeaufnahme/Kühleinheit 11 steuert; ein Umgebungsbauteil 14, das eine Taukondensations-Verhinderungszieleinheit 13 umgibt, welche eine Wärmeerzeugungseinheit 9 enthält, und welche eine Umgebungs-Gleichgewichtstemperatur höher als die maximale Taupunkttemperatur innerhalb eines Gehäuses 2 erreicht, wenn die Temperatur der Wärmeerzeugungseinheit 9 erhöht wird; und ein Temperaturdetektionsmittel 15, welches die Temperatur des Umgebungsbauteils 14 detektiert, eine Steuereinheit 7 vergleicht, während ein Stromausgabebefehl an eine Laserstromversorgungseinheit 4 ausgegeben wird, eine Umgebungsbauteiltemperatur mit einer Schalttemperatur, die zuvor niedriger als die Umgebungsbauteil-Gleichgewichtstemperatur eingestellt wurde, und wenn die Umgebungsbauteiltemperatur niedriger als die Schalttemperatur ist, steuert die Steuereinheit das Kühlkapazitäts-Steuermittel 6 so, dass die Kühlkapazität der Wärmeaufnahme/Kühleinheit 11 auf niedrigem Niveau ist, während, wenn die Umgebungsbauteiltemperatur gleich oder höher als die Schalttemperatur ist, die Steuereinheit das Kühlkapazitäts-Steuermittel 6 so steuert, dass die Kühlkapazität der Wärmeaufnahme/Kühleinheit 11 gleich oder höher als ein Standardniveau ist. A laser apparatus includes: a cooling capacity control means which controls the cooling capacity of a heat receiving/cooling unit; a surrounding member which surrounds a dew condensation prevention target unit including a heat generating unit and which reaches a surrounding member equilibrium temperature higher than the maximum dew point temperature within a housing as the temperature of the heat generating unit is increased; and a temperature detection means which detects the temperature of the surrounding member, a control unit compares, while a current output command is being output to a laser power supply unit, a surrounding member temperature with a switching temperature previously set lower than the surrounding member equilibrium temperature and when the surrounding member temperature is lowe