Positioniersystem

Positioniersystem zur Positionierung eines Objektträgers (2), mit mindestens einem Schlittenträger (7) und mit mindestens einem Positionierschlitten (25), wobei der Schlittenträger (7) für eine Bewegung des Positionierschlittens (25) parallel zu einer Positionierebene ausgebildet ist, die durch eine...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Stegmeyer, Elvira, Stocker, Marco, Berner, Georg
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Positioniersystem zur Positionierung eines Objektträgers (2), mit mindestens einem Schlittenträger (7) und mit mindestens einem Positionierschlitten (25), wobei der Schlittenträger (7) für eine Bewegung des Positionierschlittens (25) parallel zu einer Positionierebene ausgebildet ist, die durch eine X-Achse (5) und eine senkrecht zur X-Achse (5) ausgerichtete Y-Achse (6) bestimmt wird, und wobei der Schlittenträger (7) ein X-Zahnrad (8) umfasst, dessen X-Rotationsachse (9) parallel zur X-Achse (5) in der Positionierebene angeordnet ist und dessen X-Zähne parallel zur X-Achse (5) ausgerichtet sind und wobei der Schlittenträger (7) ein Y-Zahnrad (10) umfasst, dessen Y-Rotationsachse (11) parallel zur Y-Achse (6) in der in der Positionierebene angeordnet ist und dessen Y-Zähne parallel zur Y-Achse (6) ausgerichtet sind, und wobei dem X-Zahnrad (8) ein X-Antrieb für eine Drehbewegung um die X-Rotationsachse (9) und dem Y-Zahnrad (10) ein Y-Antrieb für eine Drehbewegung um die Y-Rotationsachse (11) zugeordnet ist, wobei der Positionierschlitten (25) an einer eben ausgebildeten, dem Schlittenträger (7) zugewandten Unterseite mit einer Vielzahl von längs der X-Achse (5) sowie längs der Y-Achse (6) jeweils in gleicher Teilung angeordneten Abtriebszähnen (50) versehen ist, die für einen gleichzeitigen Eingriff in die X-Zähne und in die Y-Zähne ausgebildet sind, dadurch gekennzeichnet, dass an einer Oberseite (32) des Positionierschlittens (25) eine erste Magnetanordnung (31) angebracht ist, die wenigstens einen Supraleiter umfasst und dass ein Objektträger (2) vorgesehen ist, der mit einer zweiten Magnetanordnung (19) versehen ist, die für eine magnetische Wechselwirkung mit der ersten Magnetanordnung (31) ausgebildet ist und die wenigstens einen Permanentmagneten (21) umfasst, wobei der Objektträger (2) einen Schwebespalt mit dem Positionierschlitten (25) ausbildet und wobei im Schwebespalt eine Abdeckplatte (3) aus einem magnetflussleitenden Material angeordnet ist, wobei die erste Magnetanordnung (31) in einem Isolierbehälter (30) aufgenommen ist, der mit dem Positionierschlitten (25) gekoppelt ist und wobei der Isolierbehälter (30) eine Kühlschnittstelle (39) umfasst, die für einen Wärmeabtransport aus dem Isolierbehälter (30) ausgebildet ist, wobei dem Isolierbehälter (30) eine dauerhaft mit der Kühlschnittstelle (39) verbundene elektromechanische Kühleinrichtung (29) zugeordnet ist und wobei am Schlittenträger (7) eine Sendeeinrichtung (33) und am Positionier