Verfahren und Vorrichtung zum Überprüfen einer Fokuslage eines Laserstrahls relativ zu einem Werkstück

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Überprüfen einer Fokuslage eines insbesondere gepulsten Laserstrahls relativ zu einem Werkstück, umfassend: Fokussieren des Laserstrahls an einer Mehrzahl von Positionen entlang mindestens einer Bahnkurve auf dem Werkstück, insbesondere auf dem Werkstück und auf mindestens einem anderen, baugleichen Werkstück, Detektieren von Strahlung, die bei einer Wechselwirkung des Laserstrahls, insbesondere eines jeweiligen Laserpulses (L1, L2, ..., L10), mit dem Werkstück an der zugehörigen Position erzeugt wird, Ermitteln von Signalwerten (S1, S2, ..., S10), die der detektierten Strahlung an einer jeweiligen Position entsprechen, sowie Überprüfen der Fokuslage an mindestens einer der Positionen durch Vergleichen des Signalwerts (S8) an der Position mit einem aus den Signalwerten (S1, S2, ..., S10) gebildeten Referenzwert (R). Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zum Überprüfen einer Fokuslage eines gepulsten Laserstrahls relativ zu einem Werkstück. A method checks a focus position of a laser beam in relation to a workpiece. The method includes: focusing the laser beam at a plurality of positions along a trajectory on the workpiece; detecting radiation generated during an interaction of the laser beam with the workpiece at a respective position of the positions; determining signal values corresponding to the detected radiation at the respective position; and checking the focus position at at least one of the positions by comparing the respective one of the signal values at the respective position with a reference value formed from the signal values.