Konfokaler Verschiebungssensor

Zum Bereitstellen eines konfokalen Verschiebungssensors, der die Messgenauigkeit für ein Messobjekt wie einen Körper mit rauer Oberfläche verbessern kann. Der konfokale Verschiebungssensor umfasst eine Lichtquelle zur Lichtprojektion, die konfiguriert ist, um Licht mit einer Vielzahl von Wellenlängen zu erzeugen, eine Vielzahl von Lochblenden, die konfiguriert sind, um jeweils eine Vielzahl von Detektionslichtern zu emittieren, indem ermöglicht wird, dass von der Lichtquelle emittiertes Licht für die Lichtprojektion durchgelassen wird, ein optisches Element, das konfiguriert ist, um eine axiale chromatische Aberration in der Vielzahl von Detektionslichtern zu verursachen, die jeweils über die Vielzahl von Lochblenden emittiert werden, und die Vielzahl von Detektionslichtern in Richtung des Messobjekts zu konvergieren, ein Spektroskop, das konfiguriert ist, um jeweils in den Detektionslichtern, die auf das Messobjekt über das optische Element gestrahlt werden, eine Vielzahl von Detektionslichtern durch die Vielzahl von Lochblenden, durch Reflektieren, während auf das Messobjekt fokussiert wird, zu leiten, und eine Vielzahl von Lichtempfangswellenformen zu erzeugen, die Lichtempfangsintensitäten für jede Wellenlänge darstellen, und einen Messsteuerabschnitt, der konfiguriert ist, um die Vielzahl von Lichtempfangswellenformen statistisch zu verarbeiten und eine repräsentative Lichtempfangswellenform aus der Vielzahl von Lichtempfangswellenformen zu erzeugen. The confocal displacement sensor includes a light source for light projection configured to generate light having a plurality of wavelengths, a plurality of pinholes, an optical member configured to cause an axial chromatic aberration in the plurality of detection lights respectively emitted via the plurality of pinholes and converge the plurality of detection lights toward the measurement object, a spectroscope configured to respectively spectrally disperse, in the detection lights irradiated on the measurement object via the optical member, a plurality of detection lights respectively passed through the plurality of pinholes by being reflected while focusing on the measurement object and generate a plurality of light reception waveforms representing light reception intensities for each wavelength, and a measurement control section configured to statistically process the plurality of light reception waveforms and generate a representative light reception waveform from the plurality of light reception wav