Vakuumanordnung und Verfahren

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumanordnung (100 bis 800) folgendes, aufweisen: ein Bauteil (102, 112), welches eine erste Dichtfläche (102d, 112d) mit einem ersten Rauheitskennwert aufweist; eine Gleitringdichtung (110), welche eine zweite Dichtfläche (202d, 212d) mit einem zwei...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Stude, Gerit, Wiegand, Florian
Format: Patent
Sprache:ger
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