Vakuumanordnung und Verfahren

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumanordnung (100 bis 800) folgendes, aufweisen: ein Bauteil (102, 112), welches eine erste Dichtfläche (102d, 112d) mit einem ersten Rauheitskennwert aufweist; eine Gleitringdichtung (110), welche eine zweite Dichtfläche (202d, 212d) mit einem zwei...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Stude, Gerit, Wiegand, Florian
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumanordnung (100 bis 800) folgendes, aufweisen: ein Bauteil (102, 112), welches eine erste Dichtfläche (102d, 112d) mit einem ersten Rauheitskennwert aufweist; eine Gleitringdichtung (110), welche eine zweite Dichtfläche (202d, 212d) mit einem zweiten Rauheitskennwert aufweist und mit einem Schmiermittel in körperlichem Kontakt ist; eine Elastomerdichtung (204, 214), welche die erste Dichtfläche (102d, 112d) und die zweite Dichtfläche (202d, 212d) körperlich kontaktiert; wobei eine Differenz zwischen dem ersten Rauheitskennwert und dem zweiten Rauheitskennwert kleiner ist als 50% des zweiten Rauheitskennwerts.