Sollerspalt, Röntgenstrahlenbeugungsvorrichtung und Verfahren

Bereitgestellt werden ein Sollerspalt, eine Röntgenstrahlenbeugungsvorrichtung und ein Verfahren zum Verhindern, dass sich das Beugungsbild auf einem Detektor in der In-plane-Richtung ausbreitet, selbst wenn sich ein Röntgenbestrahlungsgebiet über die Probenoberfläche aufgrund einer Messung durch GIXD ausbreitet, wodurch eine Messung mit einer kurzen Messzeit und einer hohen Auflösung ermöglicht wird. Ein Sollerspalt 100 umfasst eine Vielzahl von metallischen dünnen Platten 110, die jeweils senkrecht zu der unteren Oberfläche sind und die bogenförmig mit einem vorbestimmten Winkelintervall zwischen einander angeordnet sind, so dass Röntgenstrahlen in einer Abstrahlungsrichtung von einem bestimmten Fokus hindurchgehen, wobei der Sollerspalt zur Verwendung bei einer Position bereitgestellt ist, durch die an einer Probenoberfläche gebeugte Röntgenstrahlen hindurchgehen, wobei der bestimmte Fokus das Zentrum eines Goniometerkreises ist, wobei die Röntgenstrahlen auf eine Probe unter einem Winkel für GIXD (Grazing Incident X-ray Diffraction - Röntgenbeugung mit streifendem Einfall) abgestrahlt werden. An X-ray diffraction apparatus having a solar slit, and a method for preventing the diffraction image on a detector from spreading in the in-plane direction even when an X-ray irradiation region spreads over the sample surface due to measurement by GIXD, thereby allowing for measurement with a short measurement time and a high resolution. The soller slit 100 includes a plurality of metallic thin plates 110, each being perpendicular to the bottom surface, which are arcuately arranged with a predetermined angular interval between each other so as to pass X-rays in a radiating direction from a particular focus, the soller slit being provided to be used at a position through which X-rays diffracted on a sample surface pass, the particular focus being the center of a goniometer circle, the X-rays being irradiated on a sample at an angle for GIXD.