Vorrichtung und Verfahren zur Prozessüberwachung mehrerer Teiglinge in einer Prozesskammer

Vorrichtung zur Erfassung von Zuständen von Teiglingen in einer Prozesskammer wobei die Vorrichtung umfasst: a) ein optisches Modul, das dazu eingerichtet ist, Messdaten, die Entfernungsinformationen umfassen und einzelnen Teiglingen zuordenbar sind, zu ermitteln; b) ein Datenverarbeitungssystem, da...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Rohde, Ann-Kathrin, Bargen, Markus van, Stukenborg, Florian, Giefer, Lino, Lütjen, Michael, Fritzel, Tobias
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Vorrichtung zur Erfassung von Zuständen von Teiglingen in einer Prozesskammer wobei die Vorrichtung umfasst: a) ein optisches Modul, das dazu eingerichtet ist, Messdaten, die Entfernungsinformationen umfassen und einzelnen Teiglingen zuordenbar sind, zu ermitteln; b) ein Datenverarbeitungssystem, das dazu eingerichtet ist, Prozessparameter einzelner Teiglinge aus den Messdaten zu bestimmen und Parameterverläufe aus einem zeitlichen Verlauf der Prozessparameter zu ermitteln; und c) ein Steuerungssystem, das dazu eingerichtet ist, Betriebsparameter der Prozesskammer in Abhängigkeit der Parameterverläufe automatisch zu steuern.