Vorrichtung und Verfahren zur Prozessüberwachung mehrerer Teiglinge in einer Prozesskammer
Vorrichtung zur Erfassung von Zuständen von Teiglingen in einer Prozesskammer wobei die Vorrichtung umfasst: a) ein optisches Modul, das dazu eingerichtet ist, Messdaten, die Entfernungsinformationen umfassen und einzelnen Teiglingen zuordenbar sind, zu ermitteln; b) ein Datenverarbeitungssystem, da...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Vorrichtung zur Erfassung von Zuständen von Teiglingen in einer Prozesskammer wobei die Vorrichtung umfasst: a) ein optisches Modul, das dazu eingerichtet ist, Messdaten, die Entfernungsinformationen umfassen und einzelnen Teiglingen zuordenbar sind, zu ermitteln; b) ein Datenverarbeitungssystem, das dazu eingerichtet ist, Prozessparameter einzelner Teiglinge aus den Messdaten zu bestimmen und Parameterverläufe aus einem zeitlichen Verlauf der Prozessparameter zu ermitteln; und c) ein Steuerungssystem, das dazu eingerichtet ist, Betriebsparameter der Prozesskammer in Abhängigkeit der Parameterverläufe automatisch zu steuern. |
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