Verfahren zur Positionierung von Testsubstrat, Sonden und Inspektionseinheit relativ zueinander und Prober zu dessen Ausführung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und einen Prober 1 zur Positionierung von Testsubstrat 5, Sonden 6 und Inspektionseinheit 9 relativ zueinander, bei welchem das Testsubstrat 5 und die Sonden 6 zumindest in der X-Y-Ebene in eine gewünschten Relativposition zueinander ausgerichtet werden und die Inspektionseinheit 9 in eine solchen Z-Position über Relativposition verfahren wird, in welcher der Fokus der Inspektionseinheit 9 auf einen Beobachtungspunkt des Testsubstrats 5 eingestellt ist. Um das Nachführen der Inspektionseinheit 9 zu vereinfachen und beschleunigen, werden von dieser Ausgangsposition ausgehend das Testsubstrat 5 und die Inspektionseinheit 9 synchron derart in Z-Richtung bewegt, dass die Fokusebene beibehalten wird. The invention relates to a method and a tester (1) for positioning the test substrate (5), probes (6) and inspection unit (9) relative to one another, in which the test substrate (5) and the probes (6) are oriented into a desired position relative to one another at least in the X-Y plane, and the inspection unit (9) is moved in a Z position over the relative position in which the focus of the inspection unit (9) is set onto an observation point on the test substrate (5). In order to make tracking of the inspection unit (9) simpler and faster, the test substrate (5) and the inspection unit (9) are moved synchronously from this starting position in the Z direction such that the focal plane is maintained.