Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements mit mehreren Funktionsschichten für einen Drucksensor, Sensorelement und Sensor

Ein Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements mit mehreren Funktionsschichten für einen Drucksensor, umfasst die Schritte: 1. Bereitstellen eines verformbaren Bauteils (4); 2. Aufbringen von mehreren Funktionsschichten (3a, 3b) mit definierten spezifischen Eigenschaften auf das Bauteil (4) zur...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Pahlke, Achim, Strässle, Valentin, Siber, Armin, Bischof, David, Gutsche, Martin
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	MEASURING MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TESTING TRANSPORTING
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