Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements mit mehreren Funktionsschichten für einen Drucksensor, Sensorelement und Sensor

Ein Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements mit mehreren Funktionsschichten für einen Drucksensor, umfasst die Schritte: 1. Bereitstellen eines verformbaren Bauteils (4); 2. Aufbringen von mehreren Funktionsschichten (3a, 3b) mit definierten spezifischen Eigenschaften auf das Bauteil (4) zur...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Pahlke, Achim, Strässle, Valentin, Siber, Armin, Bischof, David, Gutsche, Martin
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	MEASURING MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TESTING TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Ein Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements mit mehreren Funktionsschichten für einen Drucksensor, umfasst die Schritte: 1. Bereitstellen eines verformbaren Bauteils (4); 2. Aufbringen von mehreren Funktionsschichten (3a, 3b) mit definierten spezifischen Eigenschaften auf das Bauteil (4) zur Bildung eines vollständigen Schichtstapelaufbaus; 3.Selektives Strukturieren des Schichtstapelaufbaus mittels Laserstrukturierung, um aus dem Schichtstapelaufbau selektiv strukturierte Funktionsschichten (3a, 3b) mit spezifischen Eigenschaften zu erstellen. Das Strukturieren des Schichtstapelaufbaus erfolgt, nachdem die Bildung des Schichtstapelaufbaus abgeschlossen ist. Um die spezifischen Eigenschaften der Funktionsschichten (3a, 3b) einzustellen, werden diese Höhen-selektiv abgetragen.