Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements mit mehreren Funktionsschichten für einen Drucksensor, Sensorelement und Sensor
Ein Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements mit mehreren Funktionsschichten für einen Drucksensor, umfasst die Schritte: 1. Bereitstellen eines verformbaren Bauteils (4); 2. Aufbringen von mehreren Funktionsschichten (3a, 3b) mit definierten spezifischen Eigenschaften auf das Bauteil (4) zur...
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| creator | Pahlke, Achim Strässle, Valentin Siber, Armin Bischof, David Gutsche, Martin |
| description | Ein Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements mit mehreren Funktionsschichten für einen Drucksensor, umfasst die Schritte: 1. Bereitstellen eines verformbaren Bauteils (4); 2. Aufbringen von mehreren Funktionsschichten (3a, 3b) mit definierten spezifischen Eigenschaften auf das Bauteil (4) zur Bildung eines vollständigen Schichtstapelaufbaus; 3.Selektives Strukturieren des Schichtstapelaufbaus mittels Laserstrukturierung, um aus dem Schichtstapelaufbau selektiv strukturierte Funktionsschichten (3a, 3b) mit spezifischen Eigenschaften zu erstellen. Das Strukturieren des Schichtstapelaufbaus erfolgt, nachdem die Bildung des Schichtstapelaufbaus abgeschlossen ist. Um die spezifischen Eigenschaften der Funktionsschichten (3a, 3b) einzustellen, werden diese Höhen-selektiv abgetragen. |
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Bereitstellen eines verformbaren Bauteils (4); 2. Aufbringen von mehreren Funktionsschichten (3a, 3b) mit definierten spezifischen Eigenschaften auf das Bauteil (4) zur Bildung eines vollständigen Schichtstapelaufbaus; 3.Selektives Strukturieren des Schichtstapelaufbaus mittels Laserstrukturierung, um aus dem Schichtstapelaufbau selektiv strukturierte Funktionsschichten (3a, 3b) mit spezifischen Eigenschaften zu erstellen. Das Strukturieren des Schichtstapelaufbaus erfolgt, nachdem die Bildung des Schichtstapelaufbaus abgeschlossen ist. 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