IONENSTRAHL-MODERATORVORRICHTUNG, IONENSTRAHL-IMPLANTATIONSGERÄT UND IONEN-IMPLANTATIONSVERFAHREN

Eine Ionenstrahl-Moderatorvorrichtung (400) weist einen Basisteilbereich (410) und einen Hauptteilbereich (420) auf. Der Basisteilbereich (410) weist ein Material mit ultra-geringer Dichte auf. Der Hauptteilbereich (420) ist mit dem Basisteilbereich (410) in Kontakt und dafür konfiguriert, eine Ener...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Gratz, Achim
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES IRRADIATION DEVICES NUCLEAR ENGINEERING NUCLEAR PHYSICS PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOTOTHERWISE PROVIDED FOR
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Eine Ionenstrahl-Moderatorvorrichtung (400) weist einen Basisteilbereich (410) und einen Hauptteilbereich (420) auf. Der Basisteilbereich (410) weist ein Material mit ultra-geringer Dichte auf. Der Hauptteilbereich (420) ist mit dem Basisteilbereich (410) in Kontakt und dafür konfiguriert, eine Energieverteilung von Ionen, die den Hauptteilbereich (420) passieren, zu verbreitern.