Vorrichtung zum Herein- und Herausführen eines Substrates in beziehungsweise aus einer Substratbehandlungseinrichtung
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Hineinführen oder Herausführen eines Substrates (2) in eine oder aus einer Substratbehandlungseinrichtung (1) durch einen sich zwischen einem ersten Spaltbegrenzungskörper (10, 10') und einem zweiten Spaltbegrenzungskörper (11,11') erstreckenden...
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| Format: | Patent |
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| creator | Jouvray, Alexandre |
| description | Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Hineinführen oder Herausführen eines Substrates (2) in eine oder aus einer Substratbehandlungseinrichtung (1) durch einen sich zwischen einem ersten Spaltbegrenzungskörper (10, 10') und einem zweiten Spaltbegrenzungskörper (11,11') erstreckenden Spalt (12), wobei der eine Spaltbreite (w) bestimmende Abstand der beiden Spaltbegrenzungskörper (10, 10'; 11,11') verstellbar ist. Die zum Spalt (12) gewandten Flächen (15, 15') jeweils eines Grundkörpers (14, 14') des Spaltbegrenzungskörper (10, 10'; 11,11') bilden in den Spalt (12) mündende Gasaustrittsöffnungen (16, 16') aus. Zur Spaltbreiten-Einstellung liegen Schrägflächen (21, 21') jeweils an Schrägflächen (22, 22') an. |
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Die zum Spalt (12) gewandten Flächen (15, 15') jeweils eines Grundkörpers (14, 14') des Spaltbegrenzungskörper (10, 10'; 11,11') bilden in den Spalt (12) mündende Gasaustrittsöffnungen (16, 16') aus. 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