Vorrichtung zum Herein- und Herausführen eines Substrates in beziehungsweise aus einer Substratbehandlungseinrichtung

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Hineinführen oder Herausführen eines Substrates (2) in eine oder aus einer Substratbehandlungseinrichtung (1) durch einen sich zwischen einem ersten Spaltbegrenzungskörper (10, 10') und einem zweiten Spaltbegrenzungskörper (11,11') erstreckenden...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Jouvray, Alexandre
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Hineinführen oder Herausführen eines Substrates (2) in eine oder aus einer Substratbehandlungseinrichtung (1) durch einen sich zwischen einem ersten Spaltbegrenzungskörper (10, 10') und einem zweiten Spaltbegrenzungskörper (11,11') erstreckenden Spalt (12), wobei der eine Spaltbreite (w) bestimmende Abstand der beiden Spaltbegrenzungskörper (10, 10'; 11,11') verstellbar ist. Die zum Spalt (12) gewandten Flächen (15, 15') jeweils eines Grundkörpers (14, 14') des Spaltbegrenzungskörper (10, 10'; 11,11') bilden in den Spalt (12) mündende Gasaustrittsöffnungen (16, 16') aus. Zur Spaltbreiten-Einstellung liegen Schrägflächen (21, 21') jeweils an Schrägflächen (22, 22') an.