MeV-basierte Ionenstrahl-Analytikanlage

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für eine MeV-basierte lonenstrahl-Analytik einer Probe umfassend eine Vakuum-Messkammer, mit wenigstens einem Detektor, sowie mit einer Probenbeobachtung, ein Vakuumsystem zur Erzeugung eines Vakuums innerhalb der Vakuum-Messkammer, ein lonenstrahlrohr sowie ein Fokussiersystem zur Fokussierung eines lonenstrahls sowie ein Probentransfersystem, umfassend einen Probenmanipulator mit einer Probenhalterung zur Aufnahme wenigstens einer Probe. Die Vorrichtung umfasst erfindungsgemäß zusätzlich ein Einkoppelsystem für den vakuumdichten Anschluss des Ionenstrahlrohres an die Messkammer, welches eine lonenstrahlvakuumdurchführung, wenigstens eine Detektorhalterung für den Detektor sowie die Probenbeobachtung umfasst, und so geringe Abstände und eine präzise Ausrichtung zwischen dem letzten ionenoptischen Bauteil des Fokussiersystems, der zu untersuchenden Probe und dem Detektor ermöglicht. A device for an MeV-based ion beam analysis of a sample includes a vacuum measurement chamber, having at least one detector and a sample observation unit, a vacuum system for generating a vacuum within the vacuum measurement chamber, and an ion beam tube and a focusing system for focusing an ion beam. The device further includes a sample transfer system, comprising a sample manipulator including a sample holder for receiving at least one sample. The device additionally includes an in-coupling system for the vacuum-tight connection of the ion beam tube to the measurement chamber, which comprises an ion beam vacuum feedthrough, at least one receiver for a detector, a receiver for receiving the sample observation unit, and a receiver for receiving the sample transfer system. The in-coupling system represents a direct mechanical connection between the components that are the ion lens system, detector and sample observation unit.